一、产品介绍
压脚是半导体制造设备中用于固定工件(如晶圆、芯片或封装基板)的关键辅助耗材,常用于晶圆划片、引线键合、芯片贴装等多个制程环节。通过气动或机械压力作用,压脚可在加工过程中稳固材料位置,防止微移、翘曲或震动,从而保障工艺精度和产品良率。我们的压脚采用高强度耐磨材料加工而成,可根据客户设备与工艺要求提供多种规格、尺寸与结构定制。
二、应用场景
● 晶圆划片(Dicing): 在切割过程中压紧晶圆,防止切割震动与偏移
● 引线键合(Wire Bonding): 固定芯片或基板位置,确保焊点精度与键合质量
● 芯片贴装(Die Attach): 在芯片拾取与粘贴过程中提供支撑与定位压力
● 晶圆搬运(Wafer Handling): 配合真空吸附系统,辅助晶圆夹紧与搬送
● 封装与检测设备中基板夹持