一、产品介绍
F&K 劈刀是德国知名品牌 F&K Delvotec 提供的高精度划片耗材,专用于半导体制造中的晶圆划片与微结构切割工艺。该系列劈刀采用超硬合金或金刚石涂层材料,具备极高的切削精度与卓越的耐磨性能,能够在高负载、高速条件下稳定运行,广泛应用于硅、砷化镓(GaAs)、碳化硅(SiC)、蓝宝石等高硬度材料的划片过程中。其卓越的洁净度控制和低颗粒释放特性,使其成为半导体和光电行业中高良率生产的理想选择。
二、应用场景
1. 晶圆划片
适用于硅、SiC、GaAs、InP 等材料的划片加工
2. 光电器件制造
切割蓝宝石、氮化镓(GaN)等LED芯片衬底
3. 微电子封装
芯片切割、晶圆级封装工艺(WLP)等
4. MEMS器件制造
精密微结构分割
5. 功率半导体制程
适用于高硬度晶圆的精密分离